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兰迪时讯-肖特在日本推出新型光敏玻璃
来源:www.landglass.com.cn 发布时间:2016-05-20

德国的特种玻璃厂商肖特(SCHOTT)将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURAN II”,该产品可在紫外线照射下结晶化,可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。

在紫外线照射下,玻璃本身会发生变质,再经过热处理就会结晶化(陶瓷化),成为光敏玻璃。无需使用光刻胶,只用氢氟酸即可仅蚀刻结晶化的部分。肖特新产品的特点是,玻璃部与陶瓷部的刻蚀选择比高达30比1,容易加工。

使用光刻胶蚀刻普通玻璃时,蚀刻会向各向同性发展,因此很难实现高深宽比加工。而感光性玻璃是选择性蚀刻结晶化的部分,从原理上来说没有深宽比限制,因此能够实现20~30μm的微细图案加工。

曝光时推荐使用波长320nm的紫外线,可使用“UV300”曝光装置。虽然使用紫外线激光器时扫描耗费时间,但不需要掩模。而且,利用激光的焦点,还可实现玻璃基板内部的隧道结构(横孔)等复杂的立体结构,而使用以往蚀刻技术时必须要层叠玻璃才能实现。实际上,目前已有客户瞄准微流体展开制造,因此有望成为无需掩模即可制造少量生产的MEMS等的手段。

新产品在晶圆状时能够以最大300mm(12英寸)的尺寸供应。在片状时能以最大200mm见方的尺寸供应。

除此之外,肖特还在日本展出用于创意家电等的光敏玻璃(玻璃陶瓷),以及已开始在智能手机指纹传感器盖板中采用的超薄板玻璃等产品。

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