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兰迪时讯-肖特在日本销售光敏玻璃
来源:www.landglass.com.cn 发布时间:2016-06-01

兰迪钢化炉近日了解到肖特(SCHOTT)将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURAN II”,该产品可在紫外线照射下结晶化,可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。

在紫外线照射下,玻璃本身会发生变质,再经过热处理就会结晶化(陶瓷化),成为光敏玻璃。无需使用光刻胶,只用氢氟酸即可仅蚀刻结晶化的部分。肖特的产品的特点是,玻璃部与陶瓷部的刻蚀选择比高达30比1,容易加工。

使用光刻胶蚀刻普通玻璃时,蚀刻会向各向同性发展,因此很难实现高深宽比加工。而感光性玻璃是选择性蚀刻结晶化的部分,从原理上来说没有深宽比限制,因此能够实现20~30μm的微细图案加工。

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